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芯片贴装是集成电路 (IC) 封装工艺中最关键的工艺之一。过去几年,芯片厚度越薄,漏源导通电阻 RDS(on) 越小,顶部金属和焊盘之间的硅电阻越低,散热性能越好,堆叠封装厚度越薄,重量越轻,这些要求就越高。这种三维技术代表了封装创新的下一波浪潮,并将在未来几年内实现大幅增长 (Ibrahim 等人,2007 年)。这些趋势对现有的电子封装技术(主要是芯片拾取工艺)提出了相当大的挑战。必须特别注意处理更薄芯片的工艺,以确保半导体产品的可靠性和质量 (Huiqiang 等人,2015 年;Carine 等人,2014 年)。

薄型和矩形芯片粘合拾取机制...

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