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冷大气压等离子体 (CAPP) 已成为一种多功能工具，应用范围从材料加工到等离子体医学 [1]。近年来，针对大气压冷等离子体装置的研究出现了显著增长 [2, 3]。这些装置的优点是无需使用昂贵且笨重的真空设备 [4]。此外，由于其气体温度低且产生的活性物质，这种类型的等离子体源具有从工业到生物学等各种应用 [5,6]。大气压冷等离子体蚀刻已在各个行业中得到广泛应用。在微电子领域，它用于半导体材料的精确和高分辨率蚀刻，从而能够生产更小、更高效的电子设备。在汽车工业中，它在改善粘合剂粘合和表面处理、提高部件的耐用性和性能方面发挥着作用 [7,8]。医疗领域受益于其对医疗器械进行消毒的能力，确保了患者的安全 [9]。在包装领域，它有助于表面活化，从而提高油墨和涂层的附着力。此外，它的环保特性符合可持续发展目标，使得大气压冷等离子蚀刻成为现代工业过程中越来越有价值的工具。
冷等离子体应用 - 本土开发...
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