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摘要：具有宽带响应的高效率和高速光电遗传学正在扮演波长划分多重光学通信的关键作用。硅平台上的锗光电轨道具有潜在的成本优势，这是由于与基于硅的电子电路的整体集成兼容性，用于信号扩增和处理。在本文中，我们报告了通过光子晶体中的引导模式共振启用的正常发病率，该晶粒光电探测器成功地解决了量子效率，波长覆盖率和带宽需求之间的折衷，这是一个通常由常规光电检测器正常发病率操作的缺点。谐振光子晶体结构旨在支持目标波长范围内的多个共振。固有的吸收层厚度为350 nm，该设备在1550 nm处的高外部量子效率高50％，并且在整个C波段中的增强率约为300％。使用14μm的MESA直径，制造的设备表现出33 dB的33 GHz带宽，并以最高56 GBP的比特速率获得了清晰的眼图。这项工作提供了
高效率和高速锗光电探测器...
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