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TDDB仍然是超短路通道CMOS节点中的关键可靠性问题,并保证了速度性能和低消耗要求。在AC RF信号操作“外状态”过程中,从低(kHz)到非常高的频率范围(GHz)[1-2]依次以“状态”模式出现。即使“偏离状态”应力通常以比“州内”应力较小的速率降低设备,它也可能成为RF域中设备操作的限制因素,而对于逻辑应用中使用的供应电压V DD通常翻了一番。不仅设备参数漂移可能会变得很重要,而且还可以触发严重分解(BD)到Gate-Drain区域中。因此,至关重要的是要精确评估态度TDDB的可靠性,并深入了解设备级别的磨损机制,因为可以在排水管上观察到故障事件(图。1a,c)和门(图。1b,d)28nM FDSOI CMOS节点中的电流。由于影响电离的差异(ii)孔和电子的阈值能量和能屏障高度,在州或偏离状态下的热载体(HC)生成及其V GS / V DS依赖性在N通道和P通道上明显不同[3]。通过低闸门敏感性进行了的比较[4],重点是注射的载体效率,一方面,在Onders HCD下,在N-Channel侧受到较大的损害,在N-Channel侧受到了较大的损坏,并且在较大的n-channel侧受到较大的损害,并且在较大的n-channel方面受到了较大的损害,并且在较大的n-channel侧受到了较大的损害。的比较[4],重点是注射的载体效率,一方面,在Onders HCD下,在N-Channel侧受到较大的损害,在N-Channel侧受到了较大的损坏,并且在较大的n-channel侧受到较大的损害,并且在较大的n-channel方面受到了较大的损害,并且在较大的n-channel侧受到了较大的损害。这种暗示的高能量HC可能会在栅极排水区域的OFF模式下触发BD事件[5-6]与热孔效率相关[7]。

新建模在TDDB外的新建模为130nm至28nm CMOS节点

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