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摘要：由于薄膜内激发光和拉曼散射光的干扰，薄膜多层膜的拉曼信号强度随薄膜层厚度非单调变化。这一现象不仅可用于增强拉曼信号，还可用于研究薄膜厚度和光学特性。本文，我们对几种薄膜材料系统的拉曼信号厚度依赖性进行了实验研究，包括蓝宝石上硅 (SOS) 和 SOS 上的氮化硅薄膜，以及在硅基板上制备的多层 MoS 2。将适当缩放的测得强度与从传输矩阵法开发的分析模型进行比较。当激光光斑尺寸足够大于薄膜厚度时，SOS 薄膜具有很好的拟合效果。对于多层 MoS 2，发现来自底层 Si 基板的拉曼信号强度具有极好的拟合效果，而 MoS 2 特征拉曼位移的强度受激光参数和样品方向的影响。这些结果对薄膜计量和光学特性表征具有重要意义。
薄膜系统的厚度相关拉曼散射
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