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驱动微型和纳米力学结构以共振和观察其在物理世界中的共鸣运动，导致了物理，科学，化学，生物学和工程学以及设备商业化的许多基本发现。将机械结构从微米缩小到纳米尺寸，使谐振运动能够探测材料特性和各种动力学现象。材料科学和纳米造型的最新进展导致成功证明了超高频率运行（GHz范围）和超高质量因子（100亿）微机械谐振器（MMRS）。这些结构的共振运动已被用作一种必不可少的工具，可以在原子质量单位的分辨率下称重生物学和化学物种，感觉像Zepto-Newton一样小，并检测许多其他物理参数。在这里，提供了关于谐振传感转导的系统观点，基本的物理学以及使用微/纳米机电系统（MEMS/NEMS）技术实现的感测结构。还描述了纳米材料和结构的作用，纳米制作和理性设计在MMR的共振频率和质量因子上对高性能感测的作用。本文讨论了用于材料表征以及生物，化学和物理感测的MMR发展的最新进展。最后，本文讨论了具有高质量因子量子传感的谐振传感器的挑战和观点，以及用于量子传感的高质量因素，以及用于经典感应应用的超高灵敏度和分辨率。
微机械机械谐振传感器
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