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摘要 — 用微结构和纳米结构装饰的平面是生物医学研究中的重要工具，用于控制细胞形状，研究机械传导、膜力学、细胞迁移以及细胞与纳米结构表面的相互作用。现有的制造表面结合纳米结构的方法通常受分辨率、纵横比或吞吐量的限制。在这项工作中，我们探索了基于电子束光刻的玻璃基板上环氧抗蚀剂 SU-8 的结构。我们专注于系统地研究工艺参数，并确定制造工艺的极限，包括空间分辨率、结构纵横比和制造吞吐量。所述方法能够直接在透明基板上生产高纵横比、表面结合纳米结构，其高度范围为 100 nm 至 4000 nm，平面分辨率低于 100 nm。制造的纳米结构表面可以与生物医学研究的常用技术相结合，例如高数值孔径光学显微镜。此外，我们还展示了如何使用所述方法在同一表面上制造具有多种高度的纳米结构，这是使用其他制造方法无法轻易实现的。我们的研究为制造纳米结构表面并应用于生命科学研究开辟了一条替代方法。
用于细胞研究的 SU-8 聚合物结构的电子束光刻制造
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