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§ 全帧测量技术,几秒钟内即可测量表面形貌 § 高点密度,每次采集 500 万个 3D 点 § 可扩展,标准测量范围从 10x12x3 [mm] 到 400x500x50 [mm],并可定制 得益于独特的设计,多尺度分析允许在一个热曲线中使用不同的放大倍数对同一物体进行多次采集。因此,可以研究不同尺度对变形的影响 [2] — 例如,同时研究 WLP 级和中心/外围芯片。因此,TDM 技术已被确定为一种适合执行 PLP 翘曲测量的工具:在室温下,在热曲线期间,研究重力效应。
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