摘要 本研究介绍了 6 面模塑面板级芯片级封装 (PLCSP) 的设计、材料、工艺、组装和可靠性。重点介绍了在带有多个器件晶圆的大型临时面板上制造 PLCSP 的 RDL(重新分布层)。由于所有印刷电路板 (PCB) 面板都是矩形,因此一些器件晶圆被切成两块或更多块,以便充分利用面板。因此,产量非常高。由于所有工艺/设备都是 PCB 工艺/设备(不是半导体工艺/设备),因此这是一个非常低成本的工艺。制造 RDL 后,将晶圆从 PCB 面板上剥离。然后进行焊球安装,并从带有 RDL 的原始器件晶圆制造 6 面模塑 PLCSP。介绍了 PLCSP 的跌落测试和结果(包括故障分析)。 6 面模塑 PLCSP PCB 组件的热循环由非线性温度和时间相关有限元模拟执行。关键词 扇入封装、再分布层、6 面模塑面板级芯片级封装、切割晶圆和跌落测试。
主要关键词