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用于测试微力机械系统，我们提出了内置自我测试方法的分类法。这些解决方案是非侵入性的，具有成本效益并且在测试过程中通常是非侵入性的解决方案，因为微机械系统（MEMS）测试的成本可以占最终产品总成本的50％。广泛分析了测试方法的选择，并根据三个性能指标介绍了此类方法的分类表：易于应用，测试应用，有用性。性能表还为该方法提供了一个现场测试域。虽然内置测试（BIST）方法确实取决于手头的应用，但利用大多数传感器的固有多模式感应能力可能是有效内置自我测试的一种有希望的方法。
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