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MEMS 开关是一种微型半导体微芯片，是任何微系统的核心。它在所有无线设备（包括手机、汽车、卫星和航空航天飞行器）中执行最复杂的开关和传感功能。然而，可靠性和性能是使这些开关在业界得到广泛商业化的首要考虑因素。在 MEMS 开关中，微执行器和微接触材料在确定可靠性和性能方面起着关键作用。我已经建立了一个半导体微芯片测试系统来研究与 MEMS 开关相关的可靠性和性能。我计划使用我定制的测试系统研究微执行器、接触材料、接触几何形状及其制造方法的设计、建模、制造和测试。我计划收集数据进行研究和分析，以便为下一代无线技术设计和制造未来坚固可靠的 MEMS 开关
美国公民及移民服务局
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