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Algainp材料技术在过去几年中一直在稳步发展,从而导致高性能的边缘发射激光〜EEL!1和红色的垂直腔表面发射激光器〜VCSEL!。2,3相对于Algainp系统,藻类受益于改进的指数对比度,降低的电阻和热电阻率,更成熟的加工技术,以及将碳用作p-型掺杂剂的能力,以实现出色的掺杂剂控制和稳定性。4然而,将基于ALGAINP的活性区与基于C的基于藻类的DBR集成是通过较差的载流子转运到AlgaInp活性区域的困难,并且无法将C用于Algainp合金中的P进行P。先前关于Algainp/ Algaas异质结构激光二极管的报道已在连接处的P侧使用Zn或Mg掺杂,以改善孔注射,5,6消除了使用藻类使用的潜在关键优势,并进一步使穿着物质扩散特征复杂化。7,8此类困难导致实施相对较厚〜8 L!红色VCSELS中的光腔6

改进了基于Algainp的红色(670–690 nm)表面 -

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