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图1。激光驱动的相位分离在SI底物上的无定形硅阵线(A-SI 0.4 GE 0.6)纳米级薄膜。a)sige薄膜中相位分离后激光写作和组成重新分布的示意图。b)两个激光加工的7 µm宽的多晶sige(多形晶体)的光图像以扫描速度1和10 mm s -1(标记为10 mm s -1),显示了富含GE的带状核心和富含Sii的较不固定区域。自然色对比度的差异揭示了依赖扫描速度的GE重新分布。c)3 µm宽的激光写的微纹条的光学图像,根据表面上的GE组成,从蓝色到黄色的天然色调。d)激光书面微带的SEM显微照片,在激光处理后显示样品表面的地形特征。e)后冰片的电子检测器(BSED)显微照片显示了富含GE(明亮)和富含Si的(深色)区域之间的材料对比度。f)以0.1 mm s -1的扫描速度编写的激光写的微条的放大SEM和g)bsed显微照片。h -l)与上述相同,但为10 mm s -1(h,i)和50 mm s -1(k,l)。

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