erahertz(THz)辐射是电磁光谱的区域,频率在0.1至10 THz之间。1-3微型THZ源和检测器启用了各种应用,例如通信,监视筛查,材料分析,生物医学诊断和个人医疗保健跟踪。1,2,4,5 5物联网(IoT)应用的小型独立传感器的可穿戴电子设备和网络的出现正在推动低功率电子电路和设备或芯片水平上的能源收获中的研究。微型THZ功率探测器可能会成为可以充当能量收集设备的关键组件,尤其是在可透明的薄膜底物上,它们可以克服硅(SI)电子芯片的外形限制,并可以在可扩展的滚动过程中制造。因此,他们有可能无需电池或外部电源提供分散的传感器网络,被动读数电路或集成的移动设备。6
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