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微通道冷却具有出色的传热特性和最佳整合特性。微通道冷却系统通常由许多微米大小的平行通道组成，冷却液通过。这项技术在过去十年中为电子设备的热管理提出了相当大的影响[1]。从近年来微型制动技术的令人难以置信的进步中受益，微通道冷却板可以制造出来，以非常薄且光线底物的微观平行通道。由于这些原因，在高能量物理实验中的粒子探测器的热管理中，微通道冷却已开始考虑[2]。在高能物理实验中，微通道冷却的首次应用是在Na62实验[3]的GigAtracker（GTK）中进行的，其中硅微通道冷却板用于消除60×40 mm 2 GTK模块的电子设备在局部耗散的热量，同时维持40 mm 2 GTK模块，同时在5下进行了0 cy [4] Sensor Dever in Sensor Dever in Sensor Devers [4]。这项技术后来被用于大型强子对撞机美容实验（LHCB）顶点定位器（VELO）升级[6]。也已对爱丽丝内部跟踪系统（ITS）[7，8]的LS2升级进行了广泛的研究。在这项研究中，我们描述了微通道原型的制造过程和压力测试。对爱丽丝的物质预算贡献和高温均匀性的严格要求[9]需要一项深入的研究，而爱丽丝的社区与CERN，Suranaree Technology（SUT），Thai Microelectronics Center（TMEC）（TMEC）和EpletechniquiquefédéraleDeLausanne（Epfl deSanne（Epfl）进行了密切合作。
用于高能物理实验的硅微通道框架
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