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有机发光二极管(OLEDS)的直接沉积基于硅的互补金属 - 氧化物 - 氧化物 - 氧化芯片(CMOS)芯片已使具有高分辨率和纤维效应器的自我发射微观播放。OLED在增强和虚拟现实(AR/VR)显示器以及生物医学应用中的新兴应用,例如,作为光遗传学中细胞光递送的大脑植入物,需要在传统显示器中发现的光强度高度的宽度量。进一步的要求通常包括显微镜占地面积,特定形状和超强的钝化,例如确保基于OLED的植入物的生物相容性和最小的侵入性。在这项工作中,最多1024个Ultrabright,显微镜OLED直接沉积在针状CMOS芯片上。在CMOS芯片的Foundry提供的铝接触板上进行透射电子显微镜和能量X射线光谱,以指导触点的系统优化。等离子体处理和银层的实施导致欧姆接触条件,因此促进了橙色和蓝色发射OLED堆栈的直接真空沉积,从而导致芯片上的微米大小的像素。每个针中的电子设备允许每个像素单独切换。OLED像素产生的平均光电密度为0.25 mW mm-2,对应于> 40 000 cd m-2,远高于大脑中日光AR应用和光遗传单单元激活的要求。

在微型针形的CMOS背板上的Ultrabright OLED的高密度整合

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