微生物是一种固态电池(SSB),旨在为小型电子设备提供电力。SSB在性能,可持续性和安全性方面,由于其更高的热和化学稳定性,较高的能量密度以及不存在可易受的液体而具有显着优势。由于可植入的医疗设备或皮肤贴片等灵活的电子微型电视的需求不断增长,因此许多研究人员都集中在阳性和负电极的沉积以及固体电解质上,以开发微生物。在微型SSB中,薄膜电池(TFB)通常具有逐层堆叠结构,其中各种组件(阴极,电解质和阳极)顺序沉积在基板上,这也可以用作电流连接器。为了确保电气和离子电荷的能力转移,电极必须非常薄(最大厚度为几微米),电解质甚至更薄。为了实现这一目标,已经探索了各种沉积技术,例如磁子溅射,脉冲激光沉积(PLD),热蒸发,化学蒸气沉积(CVD),原子层沉积(ALD)和打印(Xia等,2023)。在其中,PLD被广泛认为是薄膜增长的多功能技术。由于有可能沉积密集和纯净的薄膜,PLD引起了科学家对固态电池开发的关注(SSB)(Julien and Mauger,2019年; Fenech和Sharma,2020年)。几个PLD的角色在PLD中,脉冲激光束从固体靶标燃烧材料,以薄膜的形式沉积在基板上。激光与靶材料之间的相互作用会引起激光光子的吸收,从而导致靶标和血浆形成的高层蒸发,由原子,分子,离子,电子和簇组成。等离子体的组成和膨胀与沉积参数密切相关,尤其是环境背景(例如真空或背景气体惰性或反应性)和激光参数(包括脉冲持续时间,波长和流量)。因此,可以通过控制沉积过程中的许多实验参数(例如激光波长,能量和脉冲长度,沉积温度和大气等)来调整所获得的纤维的组成,形态,结晶度和厚度。
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